桌上型电子扫描显微镜 SH-3500MB / SH-4000M
规格参数：
型号 |
SH-3500MB |
SH-4000M |
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分辨率 |
20nm (30kV, BSE图像) |
15nm(30kV,SE图像) 20nm(30kV,BSE图像) |
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倍率 |
30~30,000x |
30~60,000x |
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加速电压 |
5kV-30kV(5kV / 10kV / 15kV / 20kV / 30kV) |
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信号探测 |
背散射(BSE) |
二次电子(SE图像) 背散射(BSE图像) |
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观察模式 |
标准模式 / 荷电减轻模式 |
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电子枪 |
预对中钨灯丝 |
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镜头系统 |
二级电磁聚光镜 一级电磁物镜 |
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载物台 |
三轴系统 X : 20mm, Y : 20mm, R:360°，图像偏移调整：±100um |
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最大样品尺寸 |
直径50mmx高度20mm |
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自动影像调节功能 |
自动初始化, 自动对焦, 自动亮度和对比度，自动像散校正 |
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分辨率及帧率 |
高速模式(320x240): 10帧/秒(预览) 低速模式(640x480):1帧/秒 拍摄模式1(1280x960):1帧/秒 拍摄模式2(2560x1920):1帧/秒 拍摄模式3:1帧/分钟 |
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图像存储 |
PC硬盘或其它储存介质 |
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图片格式 |
BMP, JPG, PNG |
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数据显示 |
倍率/探测器类型/加速电压/真空模式/标签(文本)/日期和时间/标尺 |
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真空模式 |
高真空和低真空系统 |
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减压系统
(真空泵) |
旋转真空泵 + 涡轮分子泵 |
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保护装置 |
电流过载保护功能 |
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尺寸 |
主机 |
390(W) x 640(D) x 560(H) mm ,90kg |
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旋转真空泵 |
400(W) x 190(D) x 340(H) mm,10kg |
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安装条件 |
室温：15℃~30℃/湿度：70%或更低/电源：单相100~240V AC,1kW,50/60Hz |
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桌上型电子扫描显微镜 SH-5000M
规格参数：
型号 |
SH-5000M |
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分辨率 |
5nm (30kV, SE图像) |
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倍率 |
30~100,000x |
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加速电压 |
5kV-30kV(5kV / 10kV / 15kV / 20kV / 30kV) |
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信号探测 |
二次电子(SE图像) 可选：背散射(BSE图像) |
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观察模式 |
标准模式 |
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电子枪 |
预对中钨灯丝 |
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镜头系统 |
二级电磁聚光镜 一级电磁物镜 |
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载物台 |
五轴系统：X,Y:40mm/R:360° T:0~45°/Z:0~35mm， 图像偏移调整：±100um |
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最大样品尺寸 |
直径80mmx高度35mm |
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自动影像调节功能 |
自动初始化, 自动对焦, 自动亮度和对比度，自动像散校正 |
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分辨率及帧率 |
高速模式(320x240): 10帧/秒(预览) 低速模式(640x480):1帧/秒 拍摄模式1(1280x960):1帧/秒 拍摄模式2(2560x1920):1帧/秒 拍摄模式3:1帧/分钟 |
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图像存储 |
PC硬盘或其它储存介质 |
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图片格式 |
BMP, JPG, PNG |
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数据显示 |
倍率/探测器类型/加速电压/真空模式/标签(文本)/日期和时间/标尺 |
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真空模式 |
高真空系统 |
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减压系统
(真空泵) |
旋转真空泵 + 涡轮分子泵 |
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保护装置 |
电流过载保护功能 |
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尺寸 |
主机 |
390(W) x 330(D) x 560(H) mm ,98kg 390(W) x 310(D) x 560(H) mm ,18kg |
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旋转真空泵 |
400(W) x 190(D) x 340(H) mm,10kg |
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安装条件 |
室温：15℃~30℃/湿度：70%或更低/电源：单相100~240V AC,1kW,50/60Hz |
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桌上型电子扫描显微镜 SH-1500 / SH-3000
规格参数：
型号 |
SH-1500 |
SH-3000 |
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倍率 |
20~15,000x (数字放大: 2x, 4x) |
20~30,000x (数字放大: 2x, 4x) |
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加速电压 |
1kV-20kV |
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观察模式 |
标准模式 / 自动模式 / 手动模式 |
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样品移送范围 |
X : 20mm, Y : 20mm, Rθ : n x 360? |
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最大样品直径 |
75mm |
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最大样品高度 |
12mm |
25mm |
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电子枪 |
预对中钨灯丝 |
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侦测系统 |
二次电子侦测器(SE Detector) / 背射电子侦测器（BSE Detector）[选件] |
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自动影像调节功能 |
自动初始化, 自动对焦, 自动亮度 |
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扫描帧分辨率 |
640x480 / 1280x960 / 2560x1920 像素 |
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图像存储 |
PC硬盘或其它储存介质 |
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图片格式 |
BMP, JPG, PNG, GIF |
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数据显示 |
日期/时间/比例尺/加速电压/倍率 |
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减压系统
(真空泵) |
涡轮分子泵(TMP) 抽速70L/s 一台 旋转真空泵 抽速100L/min 一台 |
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保护装置 |
电流过载保护功能 |
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尺寸 |
主机 |
490(W) x 520(D) x 540(H) mm |
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旋转真空泵 |
150(W) x 200(D) x 215(H) mm | ||
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